Horno de purificación al vacío

Horno de purificación al vacío

Aplicado en la industria de los semiconductores, la purificación y cristalización de materiales metálicos y la pureza de los materiales metálicos afectan la conductividad de los chips semiconductores y otros productos. Por lo tanto, los materiales objetivo de pulverización catódica tienen altos requisitos de pureza de los materiales metálicos.

El equipo está compuesto por cámaras de calentamiento multietapa, con diferentes temperaturas en cada etapa. Al calentar en múltiples rangos de temperatura, se recolectan y cristalizan diferentes evaporados en diferentes lugares.

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